钽薄膜

氪气溅射钽薄膜：200°C低温制备量子器件级超导材料

Nature Materials发表研究，将溅射气体从氩气换为氪气即可在低至200°C的硅衬底上合成体心立方钽薄膜，远低于传统400°C以上工艺，为超导量子比特与微波谐振器的后道兼容规模化制造打开工艺窗口。

B910化工 8月19日 12:31 158