9月2日消息，布鲁克（Bruker）宣布在扫描电镜（SEM）纳米表征探测器技术方面取得重大进展，发布eWARP TKD透射菊池衍射探测器与XFlash FlatQUAD 2L能谱探测器两款新品。

eWARP TKD将布鲁克独有的eWARP技术（直接电子探测DED+大面积像素化WARP传感器）引入SEM透射菊池衍射（TKD）：配备162×162像素新型传感器、26×26平方毫米大活性面积，采集速度最高5700帧/秒。其卓越灵敏度与超快读出使衍射数据采集比传统TKD快近一个数量级；搭配先进场发射SEM可实现亚2纳米空间分辨率，支持半导体结构、薄膜、2D材料、能源材料与纳米合金的大面积表征。专利片上合并（on-chip binning）技术支持超高速暗场/明场类成像，可在原位实验中实时观察材料变化。

XFlash FlatQUAD 2L则带来行业领先的EDS效率，并可与背散射电子（BSE）成像同步采集。其独特的环形四段硅漂移探测器（SDD）安装于SEM极靴与样品之间，实现元素成分与图像衬度的直接关联——同步采集加速表征工作流、降低对敏感样品的电子剂量，并获得完美配准的多模态数据集，对异质多相材料、半导体器件、电池电极、纳米颗粒、生物样品与FIB薄片等场景尤具价值。

Bruker EBSD资深产品经理Daniel Goran称eWARP TKD是'SEM定量纳米表征的重大飞跃'；EDS产品经理Andi Kaeppel则强调EDS与BSE的完美关联采集将'简化并加速复杂材料的分析工作流'。 （来源：AZoM）