9月14日消息，株式会社东丽研究中心（TRC，东京都中央区日本桥，社长真壁芳树）宣布推出采用TDTR（Time-Domain Thermoreflectance，时间域热反射法）的受托分析服务，可对纳米级（1纳米为10亿分之一米）薄膜材料的热导率以及异种材料间界面热阻进行定量评价。

TDTR的原理是用超短脉冲激光照射样品表面使其瞬间加热，随后将温度变化作为光反射率的时间变化进行测量：热导率越高的样品热扩散越快、表面温度下降越迅速。通过解析这一温度变化行为，可非接触地评价纳米级薄膜的导热性能与异种材料接合界面的传热难易度——这是传统方法难以定量测量的指标。

需求背景是先进半导体的发热管理。随着生成AI、超级计算机、自动驾驶系统所用先进半导体的性能提升与先进封装的高集成化，器件内部局部蓄热加剧，直接关系性能与可靠性。而实际制造工艺形成的薄膜，其热特性与界面热特性往往不同于文献值或块体材料物性值，若沿用失真数据，热仿真将无法准确预测器件内部温度与热流。该服务直接实测工艺态薄膜的导热率与界面热阻，支撑放热性能下降的归因与热设计优化。

此外，TRC表示可将该热特性评价与其已有的结构解析、组成分析技术组合，对热特性变化进行一贯通盘的归因分析，对象覆盖半导体布线间及晶体管部位使用的Low-k膜、High-k膜等绝缘膜材料，为材料开发、工艺开发与器件开发提供实测数据支撑。 （来源：Toray Research Center）