10月17日消息,据Gasworld报道,英特尔位于以色列Kiryat Gat的Fab 28工厂发生的爆炸事故已确认与卡车卸载气瓶过程中的气瓶故障有关,该事故造成两名工人死亡。以色列《国土报》与CTech对此进行了报道。
以色列消防与救援部门表示,爆炸引发火灾并伴随三氟化氮(NF3)泄漏——这是一种用于半导体制造设备工艺腔室清洁的不燃气体。部门共部署了八支消防与救援队伍,包括危险化学品专业处置单元,以控制火势并评估NF3泄漏的相关风险。
事故造成三名员工严重烧伤,其中两人随后在医院不治身亡。以色列环境保护部表示,事故发生在一次卸车作业完成后、正在连接下一个容器之时;其南部区应急团队与Ashkelon城市联合会一同赴现场评估环境影响。该部10月14日声明称:“目前事故情况仍在调查中,部里将视需要更新信息。”
Kiryat Gat基地的Fab 28采用英特尔Intel 7工艺制造面向5G与人工智能等应用的处理器。2023年英特尔曾同意投资250亿美元扩建该基地,以色列政府承诺提供32亿美元资助,但规划的Fab 38扩建此后被冻结,项目前景仍不确定。公司尚未确认爆炸是否影响该厂生产或芯片供应。NF3在半导体工业中用于清除工艺腔室沉积物,可以气态供应并在等离子体清洗过程中转化为活性氟物种,其储运安全管理是电子特气供应链的关键环节。
(来源:Gasworld)