11月6日消息，据首尔经济日报报道，三星电子已在韩国平泽P4工厂启用了氖气回收再利用系统，以强化特种气体供应安全。

该回收设备由三星与韩国本土特种气体供应商 TEMC 联合开发，安装在洁净室下方的 sub-fab 支持层。制程废气经由一套三罐系统收集后送至 TEMC，提纯至高纯度后重新供应三星使用。系统经过三到四年验证测试，于上月正式商业化。三星方面称，通过对排放气体的回收精制，公司可循环利用全部氖气消耗量的约80%。氖气是深紫外（DUV）光刻激光稳定运行所需的关键稀有气体，用于在硅片上刻画精细电路。

业界人士称，回收精制废气比采购新氖气更便宜，且在价格飙升时可显著降低成本压力。三星开发该技术的直接动因是地缘政治风险下的稀有气体供应不稳——2022年俄乌冲突扰乱氖气供应链后，三星即着手采购多元化与回收技术开发。

下一步，三星计划将该系统推广至在建的平泽P5、规划中的龙仁与韩南（Honam）芯片集群，以及现有的华城、平泽产线；由于设备连接的是制程设备的排放路径，也可加装到已运行产线。该举措同时支撑三星到2030年将国内芯片基地废弃物循环率提升至99.9%的目标——公司去年已在部分产线启动氦气循环，预计每年可减少4.7吨氦气用量。gasworld 市场背景显示，当前氖气市场并未处于短缺状态，但特种气体供应链的忧虑情绪已从今年1月的24%升至4月的34%，回收布局正成为头部芯片厂的对冲手段。 （来源：Gasworld）