10月22日消息，瑞士压缩机巨头Burckhardt Compression宣布，其子公司沈阳远大压缩机（SYCC）获得多台隔膜压缩机机组订单，用于半导体行业的氢气应用。项目将通过一家全球领先工业气体供应商，服务位于台湾与韩国的半导体制造设施。

根据订单内容，这些隔膜压缩机机组将在纯化系统下游对氢气增压，实现先进半导体制造所需的超高纯氢气可靠输送。氢气在半导体生产中扮演关键角色，被用于外延生长、退火、沉积和先进光刻等核心工序，直接关系到晶圆制造的纯度与精度要求。

订单背后是AI、数据中心、先进电子与数字基础设施投资推动的全球晶圆产能扩张，超高纯工艺气体及其配套压缩技术的需求随之上升。SYCC依托Burckhardt的活塞式与气密隔膜压缩机技术，提供满足半导体级纯度、安全性与可靠性要求的氢气压缩方案。该公司表示，这批订单进一步巩固了其在氢气压缩领域的地位，并以其现有技术组合打开了半导体这一新市场。对工业气体与氢能装备企业而言，电子级超高纯氢气正成为电解槽与输配之外的另一条高附加值需求曲线。 （来源：H2Tech）