布克哈特获半导体用氢气隔膜压缩机订单,经全球工业气体商供应台湾与韩国晶圆厂
瑞士Burckhardt Compression子公司沈阳远大压缩机(SYCC)获得多台隔膜压缩机订单,用于半导体行业氢气应用:在纯化系统下游对氢气增压,向台湾与韩国的半导体制造设施输送超高纯氢,服务外延生长、退火、沉积与光刻等关键工序。
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瑞士Burckhardt Compression子公司沈阳远大压缩机(SYCC)获得多台隔膜压缩机订单,用于半导体行业氢气应用:在纯化系统下游对氢气增压,向台湾与韩国的半导体制造设施输送超高纯氢,服务外延生长、退火、沉积与光刻等关键工序。