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和远气体投资6.84亿元扩建宜昌4500吨电子级三氟化氮项目

和远气体公告投资6.84亿元扩建宜昌电子特气及功能性材料产业园的4500吨/年电子级三氟化氮项目。电子级三氟化氮是微电子工业中优良的等离子蚀刻气体，项目分两期建设三年完成。宜昌产业园占地880亩分两期建设，规划产品涵盖电子特气和硅基功能新材料。

全球化学情报 4月23日 23:10 426