和远气体投资6.84亿元扩建宜昌4500吨电子级三氟化氮项目

B910化工消息：和远气体3月2日公告计划投资6.84亿元扩建宜昌电子特气及功能性材料产业园的4500吨/年电子级三氟化氮项目。该项目是在公司已投建的宜昌产业园项目基础上扩建，不构成重大资产重组。宜昌产业园项目占地880亩分两期建设，规划的主要产品为电子级三氟化氮、六氟化钨、三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅、硅烷、乙硅烷等电子特气，以及氨基、乙烯基、环氧基、酰氧基、烷基、苯基、硫基等系列硅基功能性新材料。截至公告日上述规划产品正在分批试生产预计今年逐步达到投产稳产目标。本次扩建的4500吨/年电子级三氟化氮项目分两期建设建设期三年。一期扩建3000吨/年三氟化氮装置储存和充装系统以及配电室机柜间污水处理等配套设施。二期扩建1500吨/年三氟化氮装置与现有500吨/年三氟化氨装置一起总产能2000吨/年。投资总预算6.84亿元资金来源为控股子公司湖北和远新材料有限公司自筹。电子级三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体具有良好的蚀刻速率和选择性，广泛应用于半导体和显示面板制造领域。随着国内半导体产业快速发展对电子特气的需求持续增长。 （来源：Hubei Daily）