ChemRxiv预印本:更可持续的硬质涂层化学气相沉积反应器概念,直指CVD工艺能耗痛点
ChemRxiv预印本提出一种面向硬质涂层化学气相沉积(CVD)的可持续反应器概念设计,通过反应器结构与工艺优化降低CVD涂层制造的能耗与物耗。硬质涂层CVD广泛用于切削工具与模具,高温高能耗是其成本与碳排核心。
共 1 篇,B910化工
ChemRxiv预印本提出一种面向硬质涂层化学气相沉积(CVD)的可持续反应器概念设计,通过反应器结构与工艺优化降低CVD涂层制造的能耗与物耗。硬质涂层CVD广泛用于切削工具与模具,高温高能耗是其成本与碳排核心。