8月14日消息，日本综合性重工及环境设备制造商荏原制作所（Ebara Corporation）于8月13日宣布，成功开发面向半导体行业的零下60度极低温制冷机（RJ-TTC型），并已完成首次出货。

该设备专为半导体制造过程中对工艺温度控制要求极高的环节而设计。随着半导体制造向更先进制程节点演进，蚀刻、沉积等关键工艺对温度稳定性和精度的要求日益严苛，需要更低温度的冷却设备来维持工艺环境的稳定性。

-60度的极低温能力使得RJ-TTC型制冷机能够覆盖此前传统制冷设备难以达到的温度范围，为先进半导体制造提供更精密的温控解决方案。该设备采用荏原在流体机械和热交换领域积累的核心技术。

荏原制作所创立于1912年，是全球知名的泵、制冷机和环保设备制造商。在半导体设备领域，荏原已长期供应晶圆清洗设备和化学机械抛光（CMP）用泵等产品。

极低温制冷机在半导体制造中的应用正在快速扩展。随着3纳米及以下先进制程的量产推进，以及AI芯片、HBM存储器等高性能半导体的需求增长，对制造过程中的超精密温控设备需求将持续上升。

荏原此次推出的RJ-TTC型极低温制冷机将直接与日本荏原冷热工业以及其他国际竞争对手在该细分领域展开竞争。首次出货标志着荏原在半导体设备产品线上的进一步扩展。

具体订单数量和客户名称未在公开摘要中披露。 （来源：Daily Chemical News）