荏原制作为半导体行业开发零下60度极低温制冷机并实现首次出货 荏原制作所8月13日宣布，成功开发面向半导体制造行业的零下60度极低温制冷机RJ-TTC型，并已完成首次出货。该设备填补了半导体先进制程对超低温温控的需求空白。 B910化工 8月14日 18:51 35
