11月12日消息，据AZoM报道，一项发表于《通讯-材料》（Communications Materials）的研究提出了离子液体辅助的室温干法刻蚀方法，使金属有机框架材料（MOF）能够耐受离子束加工，实现精密图案化。

MOF是由金属中心与有机配体自组装形成的多孔晶态材料，具有高比表面积、可调孔道与丰富的化学功能，在气体储存与分离、传感和电子器件领域应用前景广阔。但要将MOF集成进功能器件，必须对其进行微纳米级精密图案化加工，而MOF的金属-配体键较弱、含有机组分，在传统高能粒子束加工中极易损毁，这一直是产业化的关键瓶颈。

研究团队的方法是：将离子液体渗入铜基MOF内部，让离子液体在晶体内形成保护环境，显著提升材料对电子束与离子束损伤的耐受性，从而在室温条件下即可完成干法刻蚀加工，无需高温或湿化学处理。

该工艺路线的价值在于打通了MOF从粉体材料走向图案化功能器件的最后一环：精确图案化的MOF结构可直接用于微电子器件与化学传感器制造。对化工与材料行业而言，这意味着MOF在气体分离膜、催化组件和传感芯片等高附加值应用中的产业化进程有望提速。 （来源：AZoM）