离子液体助力MOF材料实现室温离子束刻蚀，突破精密图案化瓶颈 发表于《通讯-材料》的研究显示，研究人员将离子液体渗入铜基MOF材料，使其耐受室温下的电子束与离子束损伤，实现干法刻蚀精密加工。该工艺为MOF材料在电子器件与传感器中的图案化集成扫清关键障碍。 B910化工 11月12日 19:48 47
