局域电沉积

3D打印铜微电感器登上Nature Communications：垂直生长于芯片焊盘之上，品质因数最高达18

研究人员用局域电沉积法在芯片表面直接打印3D铜微螺线管电感，器件在2GHz下品质因数11-16、5GHz附近约18，15GHz仍保持电感特性，电感值0.8-3nH，为RF芯片突破平面电感占片面积瓶颈提供了新路线。

B910化工 9月10日 18:50 169