防爆认证

全球首款防爆认证20纳米溶剂颗粒计数器问世，瞄准半导体IPA/PGMEA在线监测

Particle Measuring Systems推出Chem 20 SM溶剂颗粒计数器，可在危险区域直接在线监测IPA、PGMEA等关键溶剂中20纳米颗粒，获得IECEx、ATEX与NEC I类2区认证，无需传统氮气吹扫外壳，帮助晶圆厂更早发现限制良率的颗粒事件。

B910化工 10月17日 12:19 40