10月17日消息（UTC+8），污染监测企业Particle Measuring Systems（PMS）推出Chem 20™ SM溶剂颗粒计数器，号称首款获得危险区域认证的20纳米溶剂颗粒计数器，面向半导体制造中的关键溶剂化学在线监测。

该产品针对IPA（异丙醇）、PGMEA等危险区域溶剂环境设计，可在易燃气氛中直接进行在线颗粒监测，并获得IECEx、ATEX与NFPA 70 NEC I类2区（Class I Division 2）认证。传统方案需要在标准颗粒计数器外自建昂贵的氮气吹扫防护外壳，带来复杂性、成本与维护负担；Chem 20 SM作为一体化方案可直接安装于危险区域，简化部署的同时保持污染控制能力。

PMS副总裁Badr Astiphan表示，产品将20纳米颗粒检测、危险区域认证与紧凑可安装设计结合，让客户更高效、更有信心地监测关键溶剂化学。对晶圆厂与化学品供应商而言，这意味着可以把污染监测点推进到更贴近工艺的位置，更早识别限制良率的颗粒事件。

在先进制程节点对高纯化学品颗粒污染愈发敏感的背景下，免外壳的防爆级在线监测仪器有望降低晶圆厂超纯溶剂品质监控的部署门槛，成为电子化学品供应链质控环节的新工具。 （来源：AZoM）