互补极性双层钽酸锂谐振器实现25.7%机电耦合系数，创该材料体系最高纪录
研究人员利用两片31°Y取向单晶LiTaO3薄膜旋转键合构成互补极性（+X/-X）双层结构，在对称选择性激发二阶厚度剪切模态下实现kt²=25.7%的机电耦合系数，为LiTaO3谐振器架构迄今最高值。有限元分析表明该结构可频率缩放至5 GHz以上并维持约25%的耦合系数，同时引入SiO2补偿层可将温度系数优化至约-25 ppm/°C。
声学谐振器
共 1 篇 · B910 化工资讯聚合
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研究人员利用两片31°Y取向单晶LiTaO3薄膜旋转键合构成互补极性（+X/-X）双层结构，在对称选择性激发二阶厚度剪切模态下实现kt²=25.7%的机电耦合系数，为LiTaO3谐振器架构迄今最高值。有限元分析表明该结构可频率缩放至5 GHz以上并维持约25%的耦合系数，同时引入SiO2补偿层可将温度系数优化至约-25 ppm/°C。
