9月7日消息，电镜厂商Semplor发布NANOS EBSD台式扫描电子显微镜，将电子背散射衍射（EBSD）晶体学分析能力集成到紧凑的台式SEM平台，实现了形貌、晶体取向与元素成分的一体化表征。

NANOS EBSD将高分辨SEM成像与EBSD及EDS分析结合：EBSD提供晶体取向、相组成与晶粒结构信息，集成EDS则在同一平台完成元素分析。设备核心规格包括：分辨率<8nm，加速电压1-20kV，配备二次电子与四象限背散射电子探测器。晶体学部分集成Bruker e-Flash XS EBSD探测器与Bruker ESPRIT软件，支持取向成像、物相鉴定、晶粒重构、晶界与取向差分析及织构分析，多线程处理使EBSD数据重索引速度达到60000点/秒。

设备的关键设计是共心倾斜样品台：在0°到70°倾角范围内保持关注区域居中与聚焦，用户在正常成像位识别目标区域后，无需破真空或重新定位样品即可切入EBSD分析位，保证工作流的直接性与可重复性。同一平台还支持EDS点分析、线分析与面扫，无需将样品移至其他仪器。

台式电镜集成EBSD此前长期是电镜行业的技术空白——传统EBSD需要立式场发射电镜与外部探测器。对材料研发、金属失效分析、半导体与地质等需要晶体学信息的实验室而言，该产品将晶体取向分析的门槛大幅降低，有望扩大EBSD技术的应用面。 （来源：AZoM）