氮化钛

氢等离子体辅助原子层外延制备超导氮化钛薄膜，可用于低温量子电路

Yi-Hsun Chen 等13位作者10月1日在arXiv发布研究，用氢等离子体辅助ALD在蓝宝石衬底上外延生长超导氮化钛薄膜，超导转变温度2.2K、动能电感15pH/方，为低温量子技术提供材料新路径。

B910化工 10月3日 12:15 55