超导量子器件

有机单分子层钝化使钽超导谐振器品质因子提升140%

研究人员在钽共面波导谐振器中引入自组装有机单分子层，对新鲜刻蚀的钽和硅表面进行全表面钝化处理。在100 mK温度下5-9 GHz频段，器件在单光子区域的内部品质因子达到1.8×10^6，较未经处理的器件提升约140%。该方案为高相干超导量子器件提供了一条可规模化的工艺路线。

B910化工 4月27日 19:23 466