9月8日消息，台式电镜厂商Semplor发布ONYX扫描电子显微镜，其110×110mm电机化样品台为当前台式SEM中最大，可容纳64个半英寸样品座、16个一英寸样品座或半导体晶圆等大尺寸样品。

性能配置：分辨率<8nm，加速电压1-20kV，支持二次电子与四象限背散射探测，可在低真空模式成像不导电样品；内置能量色散谱（EDS）检测器，配套Discover软件将成像、元素分析与报告集成于单一界面。

电子源采用用户可自行更换设计以减少停机。产品定位是材料实验室与半导体失效分析环节的“低门槛+高通量”检测：大样品台一次装载多样品批量扫描，省去传统台式机反复换样的时间成本。

台式SEM市场竞争者包括赛默飞Phenom系列与日立台式线，ONYX以样品台尺寸与EDS集成度作为差异化卖点。 （来源：AZoM）