10月24日消息，日本分析仪器厂商理晶（Rigaku Corporation）宣布将在JASIS 2026展会上推出DicifferX Microarea Edition微区版X射线衍射仪（XRD）。随着电子器件小型化，多层陶瓷电容器（MLCC）等元件正变得日益微型化与高密度集成，对仅数十微米尺度的微区材料表征需求随之上升，而传统微区测量面临束径缩小导致的X射线强度损失与轻微机械挠曲引起的照射位置漂移等挑战。

据AZoM报道，DicifferX Microarea Edition为此采用固定入射X射线源结构，从结构上最大限度抑制照射位置漂移因素；结合高精度多轴测角仪，残余位置偏差由软件校正，实现数十微米微区的准确测量。光源方面，高亮度点聚焦X射线源配合多层聚焦镜，在高分辨配置下强度约为通用XRD系统的100倍，高强配置下约330倍。

系统搭载宽检测面积的HyPix-3000二维探测器，可高效采集微区衍射数据，支持变色与异物微区的定性定量评价、极图测量、残余应力测量及多点mapping。理晶的Jun Kawakami表示，该系统在表征日益微型化电子元件方面实现了稳定性与精度的跨越。

对材料质控与失效分析实验室而言，微区XRD能力的提升意味着电子材料、薄膜与器件工艺中更小尺度缺陷的溯源能力增强；理晶同期还发布了Qualana微区X射线荧光光谱仪，显示微区分析正成为仪器厂商竞逐的细分方向。 （来源：AZoM）