High-NA EUV

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王子控股木质生物基光刻胶通过High-NA EUV验证实现10nm线宽图案成形

王子控股与比利时imec合作，在High-NA（NA 0.55）EUV光刻EXE:5000装置上用木质生物基光刻胶确认了A14节点适用的10nm线宽与16nm孔径图案，全程不含PFAS。成果将于9月8-11日SPIE会议发表，公司目标2028年实现该材料事业化。

B910化工 9月8日 23:51 130