王子控股木质生物基光刻胶通过High-NA EUV验证 实现10nm线宽图案成形
王子控股与比利时imec合作,在High-NA(NA 0.55)EUV光刻EXE:5000装置上用木质生物基光刻胶确认了A14节点适用的10nm线宽与16nm孔径图案,全程不含PFAS。成果将于9月8-11日SPIE会议发表,公司目标2028年实现该材料事业化。
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王子控股与比利时imec合作,在High-NA(NA 0.55)EUV光刻EXE:5000装置上用木质生物基光刻胶确认了A14节点适用的10nm线宽与16nm孔径图案,全程不含PFAS。成果将于9月8-11日SPIE会议发表,公司目标2028年实现该材料事业化。
王子控股8月27日宣布,与住友重机械联合申报的“以国产木材为主原料的生物甲醇制造实证事业”入选环境省脱碳型循环经济系统构筑促进事业补助。项目为期2026-2029年度,将在住友重机械爱垣新居滨工厂设置气化设备,引入东洋工程甲醇合成技术,目标构建国产生物甲醇供应链,替代目前主要依赖进口的天然气基甲醇。