氖气

三星平泽P4厂启氖气回收系统，可循环利用80%氖气用量

据首尔经济日报，三星电子在平泽P4厂投运与韩国特气商TEMC联合开发的废气氖回收系统，经三四年验证后于上月商业化，可回收约80%的氖气消耗，并计划扩展至P5、龙仁等产线，支撑2030年国内芯片基地废弃物循环率99.9%目标。

B910化工 11月6日 02:14 4