9月16日消息，岛津科学仪器（Shimadzu Scientific Instruments）9月15日发布TOC-1000e S在线总有机碳（TOC）分析仪，面向先进半导体制造中日益严苛的超纯水水质监控需求。

该仪器的核心检测单元采用准分子灯产生的短波高能光，配合岛津 proprietary 的 Active-Path™ 串联流路设计，将灯源与电导检测器直接串联，实现对尿素等难氧化有机物的高灵敏检测——这类有机物是半导体超纯水系统中最难捕捉、也最易导致晶圆缺陷的污染来源。串联流路同时支持实时监控与污染事件的快速定位，帮助产线迅速追溯缺陷来源。

工程设计上面向连续运行场景：整机重量约3公斤，可台面、挂墙或管道安装；侧面标配样品瓶采样口，支持现场校准；灯源与泵头等易损件均为正面可达设计，免工具更换。数据可经USB以CSV/PDF导出，也支持模拟量输出与告警信号，并通过网络连接实现浏览器远程监控，无需专用软件。

背景层面，随着半导体制程节点微缩，超纯水中ppb级乃至更低的有机污染已直接影响良率，TOC在线监测成为晶圆厂水系统的标配环节。岛津此举意在以紧凑机型切入产线分布式监测点——除固定安装外，该仪器也可作为机动备用表在不同测点间移动，或用于搬迁、维护后的系统验证。分析仪器厂商在半导体供应链中的这一细分赛道，正随先进制程扩产同步放量。 （来源：AZoM）