默克在韩国投产钼前驱体工厂:面向AI芯片制造,材料利用率超99%
默克(Merck KGaA)宣布在韩国启用新的钼前驱体生产设施,生产先进制程芯片关键前驱体MoO₂Cl₂,配套CHEMKEEPER输送系统,材料利用率超99%,瞄准3D NAND向DRAM字线及未来逻辑器件扩展的钼沉积需求。
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默克(Merck KGaA)宣布在韩国启用新的钼前驱体生产设施,生产先进制程芯片关键前驱体MoO₂Cl₂,配套CHEMKEEPER输送系统,材料利用率超99%,瞄准3D NAND向DRAM字线及未来逻辑器件扩展的钼沉积需求。