低温刻蚀

日本半导体材料巨头Resonac宣布将在山口县德山工厂（Shunan市）新建高纯度氟化氢（HF）气体产线，2026年内投产，与现有神奈川县川崎工厂形成双基地供应体系。该气体主要用于半导体先进刻蚀工艺，…