EPFL等离子体灰化破解硅混合单层掺杂表征难题:去碳保磷,助力纳米器件超浅结
洛桑联邦理工学院研究人员在硅混合单层掺杂(MMLD)中引入氧等离子体灰化工艺,XPS证实其可在保留表面磷的前提下清除残余碳;KPFM显示硅功函数随ADP浓度系统性下降,蒸发SiO2加盖结合等离子处理的组合最接近n型行为。成果发表于《Small Methods》。
共 2 篇 · B910化工 · AI 化学信息库
洛桑联邦理工学院研究人员在硅混合单层掺杂(MMLD)中引入氧等离子体灰化工艺,XPS证实其可在保留表面磷的前提下清除残余碳;KPFM显示硅功函数随ADP浓度系统性下降,蒸发SiO2加盖结合等离子处理的组合最接近n型行为。成果发表于《Small Methods》。
由多伦多大学Timothy Hughes牵头、EPFL深度参与的国际合作在《自然》发表"Codebook"研究,整合五个实验平台完成4800多次实验,鉴定出此前知之甚少的177个人类转录因子的DNA结合模体,为基因调控"词典"新增约130个模体,是迄今最全面的人类转录因子结合偏好目录。