EPFL等离子体灰化破解硅混合单层掺杂表征难题:去碳保磷,助力纳米器件超浅结
洛桑联邦理工学院研究人员在硅混合单层掺杂(MMLD)中引入氧等离子体灰化工艺,XPS证实其可在保留表面磷的前提下清除残余碳;KPFM显示硅功函数随ADP浓度系统性下降,蒸发SiO2加盖结合等离子处理的组合最接近n型行为。成果发表于《Small Methods》。
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洛桑联邦理工学院研究人员在硅混合单层掺杂(MMLD)中引入氧等离子体灰化工艺,XPS证实其可在保留表面磷的前提下清除残余碳;KPFM显示硅功函数随ADP浓度系统性下降,蒸发SiO2加盖结合等离子处理的组合最接近n型行为。成果发表于《Small Methods》。
北卡罗来纳州立大学团队在Applied Surface Science发表研究:利用介质阻挡放电(DBD)等离子体在纤维素纳米纤丝(CNF)薄膜表面沉积有机硅涂层,可将液态水吸收率降至1%以下,且工艺可与现有包装产线无缝集成、无需大量用水与高温,为植物基包装替代石油基塑料薄膜提供可扩展路径。
耶鲁大学Lea Winter团队在《自然·催化》发表研究,通过等离子体活化与电催化耦合的“三相界面”设计,将CO₂转化为甲醇、丁烷等三碳四碳产品,实现已报道最高水平的高值醇类生成速率,系统在常温常压下运行并可直接消纳间歇性可再生电力。
arXiv预印本(2609.17345)用LIF/TALIF/发射光谱三种诊断绘制氩-甲烷辉光放电中H、CH、C2自由基绝对密度空间分布,发现甲烷初级解离集中于阴极鞘层(
Worley将为比利时碳利用初创D-CRBN位于安特卫普的模块化等离子体可再生合成气示范装置提供工程服务。装置设计年产200吨合成气,等离子技术以电力将CO2与生物甲烷转化为合成气,可作为未来1万吨/年商业装置的基础。
PyroGenesis提供气相二氧化硅业务进展更新:其等离子体FSR反应器中试装置一年内产出200与150牌号等多个商业级产品,正与联合冶炼伙伴洽谈千吨/年装置(约2000万美元),并与北美、中东客户商谈万吨级产能,若落地将推动气相二氧化硅分散化生产。