10月8日消息,东京应化工业(TOK)宣布,位于福岛县郡山市的郡山工厂半导体光刻胶新制造厂房竣工,投资额约230亿日元,建筑面积4800平方米,2024年7月开工,计划2026年11月投入运营。
郡山工厂生产包括EUV、ArF光刻胶在内的各类半导体光刻胶,是全球最大级别的光刻胶生产基地之一。鉴于半导体市场中长期增长预期,公司决定建设新厂房以进一步提升产品品质并扩大供应能力。新厂房通过产线自动化与数字化,打造以人为本的智能工厂,追求高安全性与生产效率,目标制造全球最高品质的光刻胶。
根据中期经营计划TOK Medium-Term Plan 2027,TOK集团正着力构建韧性供应链,将继续推进积极设备投资,扩充生产基础设施并强化研发能力。公司表示本事项对业绩的影响已反映在8月6日公布的合并业绩预期中。
光刻胶是半导体制造中技术壁垒最高的材料之一,EUV光刻胶供应目前高度集中于日本厂商。TOK此番扩产发生在AI芯片需求拉动先进制程产能扩张的窗口期,郡山新厂房的投产将增强EUV/ArF光刻胶的供应纵深,对下游晶圆厂的供应链安全具有直接意义。
(来源:Tokyo Ohka Kogyo)