EUV

ADEKA扩产EUV光刻胶用光酸产生剂，千叶工厂产能提升至约2倍

ADEKA宣布在千叶工厂（袖浦市）现有厂房内增设新产线，将先进光刻胶用光酸产生剂（PAG）产能提升至约2倍，计划2027年1月开工、2028年2月完工、2028年9月投入商业化运营。EUV光刻等先进制程拉动高端光刻胶材料需求，公司援引2026年约1.5万亿美元的半导体市场规模预期作为扩产依据。

B910化工 8月21日 19:00 17