光酸发生剂

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ADEKA扩产EUV光刻胶用光酸发生剂,千叶工厂产能翻倍、2028年9月投产

ADEKA宣布在千叶工厂(袖浦市)既有厂房内新增半导体光刻胶用光酸发生剂(PAG)产线,投资约10亿日元,产能提升至当前约2倍,2027年1月开工、2028年9月商业运行。该产品面向EUV及High-NA EUV先进光刻工艺,公司将供应能力提升计划提前两年落地,配合2026年7月投运的半导体创新中心加速下一代聚合物键合PAG开发。

B910化工 8月23日 12:15 18