ADEKA扩产EUV光刻胶用光酸发生剂,千叶工厂产能翻倍、2028年9月投产
ADEKA宣布在千叶工厂(袖浦市)既有厂房内新增半导体光刻胶用光酸发生剂(PAG)产线,投资约10亿日元,产能提升至当前约2倍,2027年1月开工、2028年9月商业运行。该产品面向EUV及High-NA EUV先进光刻工艺,公司将供应能力提升计划提前两年落地,配合2026年7月投运的半导体创新中心加速下一代聚合物键合PAG开发。
共 2 篇 · B910化工 · AI 化学信息库
ADEKA宣布在千叶工厂(袖浦市)既有厂房内新增半导体光刻胶用光酸发生剂(PAG)产线,投资约10亿日元,产能提升至当前约2倍,2027年1月开工、2028年9月商业运行。该产品面向EUV及High-NA EUV先进光刻工艺,公司将供应能力提升计划提前两年落地,配合2026年7月投运的半导体创新中心加速下一代聚合物键合PAG开发。
ADEKA宣布在千叶工厂(袖浦市)现有厂房内增设新产线,将先进光刻胶用光酸产生剂(PAG)产能提升至约2倍,计划2027年1月开工、2028年2月完工、2028年9月投入商业化运营。EUV光刻等先进制程拉动高端光刻胶材料需求,公司援引2026年约1.5万亿美元的半导体市场规模预期作为扩产依据。