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三元素共掺杂

硼-氢-磷三元素共掺杂突破金刚石N型半导体长期难题

2026-04-2733
研究人员通过精确控制的硼-氢-磷三元素共掺杂策略,在一步生长过程中实现了稳定的N型单晶金刚石。霍尔效应测量显示电子浓度高达1.0×10¹⁹ cm⁻³,电阻率低至0.249 Ω·cm。共掺金刚石还在27…