三菱化学将量产超 高纯胶体二氧化硅,2028年10月投产瞄准先进半导体抛光
三菱化学宣布商业化先进半导体抛光用超 高纯胶体二氧化硅,将在福冈县北九州市九州工厂建设新生产设施,2028年10月开始商业运营,产品用于硅晶圆抛光剂和CMP抛光液原料,以一体化超 高纯四甲氧基硅烷工艺最大限度降低杂质。
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三菱化学宣布商业化先进半导体抛光用超 高纯胶体二氧化硅,将在福冈县北九州市九州工厂建设新生产设施,2028年10月开始商业运营,产品用于硅晶圆抛光剂和CMP抛光液原料,以一体化超 高纯四甲氧基硅烷工艺最大限度降低杂质。
三菱化学8月20日宣布将商业化生产用于尖端半导体抛光材料的超高纯胶体二氧化硅,计划在福冈县北九州市九州工厂新建生产装置并启动商业化运营。产品以超高纯四甲氧基硅烷为原料经一体化工艺生产,杂质含量极低,将供应硅晶圆表面抛光与布线层CMP浆料市场。